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COW/COT AOI芯片缺陷检测设备

COW/COT AOI用于GaN, GaAs, InP chip等芯片外观检测。支持4"、6"、8"、12"晶圆或者COT样品检测。常规检测：电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异常，最小检测缺陷尺寸达到0.5μm。支持用户定义或协商定制缺陷类别。

Tool Configuration

l Wafer size:4"/6"or4"/6"/8" or 8"/12" compatible; other size upon requests

l COW(chip on wafer), COT(chip on tape) or COTD (双面检测) available

l Optics: 1X, 3X, 5X, 10X and 20X combinations based on inspection requirement; 50X or 100X used as review

检测缺陷类别Defect types

l 缺陷尺寸：0.5um or above

l 常规检测：电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异常

l 深度学习系统与神经网络算法，可以对缺陷类别进行精准分类

l 支持用户定义或协商定制缺陷类别，但增加缺陷类别可能会影响产能


软件功能Software Functions

l Function Blocks：晶圆搬运控制、状态指示、安全互锁、数据采集、测量结果数据处理、Recipe编辑与管理、缺陷复查（Review）图形化界面、设备状况记录log

l 用户权限：工艺工程师、设备工程师，操作员

l Grading function：可按照用户需求，定义产品Bin值

l Defect definition：可由用户自行进行检测参数，卡控标准的设定



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