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高精度温度校准单元 Cal-2

 Cal-2 可以用于MOCVD设备不开腔温度校准。

主要技术指标

l 系统由Cal-2集成探头，BNC信号线，24位高精度DAQ单元，USB线连接Laptop构成

l 集成探头则由探测光路，接收PD, 信号放大电路，温度漂移抑制电路，环境温度监测显示电路，锂聚合物电池，充电电路构成 ü探测口径仅4mm，可应用于各种尺寸Viewport 

l 测温范围可定制。量产两种500~1200 °C，650~1750°C

l 稳定性：< 0.05℃

l 重复性：<0.1 °C 

l 体积小：150 x 40 x40mm


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