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E3500 SiC 缺陷检测设备
E3500是针对SiC材料的缺陷检测设备，可以检测SiC衬底、同质外延等的表面和荧光缺陷。可以检测并区分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高产能、高检测精度的优点。
1447 ¥ 0.00 -
F1000晶圆表面颗粒检测设备
F1000是专门的颗粒检测设备，可以检测Si、Inp等衬底材料商的Particle。最高可检测到51nm的颗粒（Si基PSL wafer）。支持支持4"、6"、8"或8"、12"晶圆检测。
1004 ¥ 0.00 -
E3200 GaN缺陷检测设备
E3200是针对GaN 功率器件和HB GaN LED应用，可以检测GaN衬底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和荧光缺陷，最小检测颗粒81nm。可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）、PL 黑点、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及荧光缺陷。支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
1088 ¥ 0.00 -
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石，砷化镓，钽酸锂，石英玻璃，磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）等缺陷，最小可检测缺陷81nm；支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
1431 ¥ 0.00 -
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石，砷化镓，钽酸锂，石英玻璃，磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）等缺陷，最小可检测缺陷81nm；支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
适应晶圆尺寸Wafer Size
l Size: 4", 6", 8" compatible; 标配4 cassettes; other size upon request
l Thickness: 350um~1500um（其它厚度需要测试）
缺陷类别及检测能力Defect Inspection Capability
Defects | Materials |
颗粒particle | Si, GaAs, InP |
Sapphire, Glass, LiTaO3 | |
PSS | |
凹坑pit | Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
凸起bump | Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
划伤scratch | Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
污点stain | Si, Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
裂纹Cracks | Si |
E1000（BF）检测视图
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