E1000 化合物半导体缺陷检测设备
Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石,砷化镓,钽酸锂,石英玻璃,磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)等缺陷,最小可检测缺陷81nm;支持4"、6"、8"晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
适应晶圆尺寸Wafer Size
l Size: 4", 6", 8" compatible; 标配4 cassettes; other size upon request
l Thickness: 350um~1500um(其它厚度需要测试)
缺陷类别及检测能力Defect Inspection Capability
Defects | Materials |
颗粒particle | Si, GaAs, InP |
Sapphire, Glass, LiTaO3 | |
PSS | |
凹坑pit | Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
凸起bump | Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
划伤scratch | Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
污点stain | Si, Sapphire, GaAs, InP, Glass, LiTaO3 |
裂纹Cracks | Si |
E1000(BF)检测视图