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MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS

viperRTC–LSS (Low Speed Single point curvature) MOCVD在线监测系统，用于慢转速，多片行星式MOCVD设备，实现对工艺反射率（R），温度（T）和翘曲度（C）的实时监测。测温信号，可用于闭环温度控制。


l 适用于Aixtron Gx  每小盘多片行星式MOCVD系统 

l 测温波长：940nm ü测量反射率波长：940nm, 633nm 或定制

l 测量曲率波长：405nm激光

l 曲率测量传感器：PSD

l 测温范围宽：450度~1450度 

l 测量准确度：±1度，重复性精度 <0.5度 

l 一个温度反射率测量通道，1个曲率测量通道（可配置多通道） 

l 单点RTC探头，同时测量温度，反射率和曲率

l 独有算法，可实现行星式多片wafer的曲率测量


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