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E3500 SiC 缺陷检测设备
E3500是针对SiC材料的缺陷检测设备，可以检测SiC衬底、同质外延等的表面和荧光缺陷。可以检测并区分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高产能、高检测精度的优点。
1454 ¥ 0.00 -
F1000晶圆表面颗粒检测设备
F1000是专门的颗粒检测设备，可以检测Si、Inp等衬底材料商的Particle。最高可检测到51nm的颗粒（Si基PSL wafer）。支持支持4"、6"、8"或8"、12"晶圆检测。
1008 ¥ 0.00 -
E3200 GaN缺陷检测设备
E3200是针对GaN 功率器件和HB GaN LED应用，可以检测GaN衬底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和荧光缺陷，最小检测颗粒81nm。可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）、PL 黑点、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及荧光缺陷。支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
1092 ¥ 0.00 -
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石，砷化镓，钽酸锂，石英玻璃，磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）等缺陷，最小可检测缺陷81nm；支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
1435 ¥ 0.00 -
MOCVD在线扫描系统 Scanpyro-RT
Scanpyro-RT MOCVD在线扫描系统，用于具有狭缝型观察窗的MOCVD设备，实现对整个盘面的温度和反射率扫描，获得实时的，整个温度场的数据。
l 适应于狭缝型viewport
l 测温波长: 940nm
l 测量反射率波长: 940nm, 405nm或定制
l 扫描速率: 200-600ms/ Step
l 扫描步长: 径向1mm/Step
l 扫描范围: 280mm, 配备斜置测温探头，可扫描整个石墨盘
l 扫描时间: 全盘扫描60-120s
l 2D图形化显示全盘温度场分布
l 丰富的数据分析功能
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