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F1000晶圆表面颗粒检测设备

F1000是专门的颗粒检测设备，可以检测Si、Inp等衬底材料商的Particle。最高可检测到51nm的颗粒（Si基PSL wafer）。支持支持4"、6"、8"或8"、12"晶圆检测。


适应晶圆尺寸Wafer Size

l Size: 4", 6", 8" compatible or 8", 12" compatible; other size upon request

l Thickness: 350um~1500um（其它厚度需要测试）

颗粒检测能力Particle Inspection Capability

Mode

Function

Sensitivity

Normal mode

Particle counter

>81nm

High sensitivity mod

Particle counter

>61nm

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