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E3500 SiC 缺陷检测设备
E3500是针对SiC材料的缺陷检测设备,可以检测SiC衬底、同质外延等的表面和荧光缺陷。可以检测并区分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4"、6"、8"晶圆检测,具有高产能、高检测精度的优点。
1456 ¥ 0.00 -
F1000晶圆表面颗粒检测设备
F1000是专门的颗粒检测设备,可以检测Si、Inp等衬底材料商的Particle。最高可检测到51nm的颗粒(Si基PSL wafer)。支持支持4"、6"、8"或8"、12"晶圆检测。
1014 ¥ 0.00 -
E3200 GaN缺陷检测设备
E3200是针对GaN 功率器件和HB GaN LED应用,可以检测GaN衬底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和荧光缺陷,最小检测颗粒81nm。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)、PL 黑点、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及荧光缺陷。支持4"、6"、8"晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
1095 ¥ 0.00 -
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石,砷化镓,钽酸锂,石英玻璃,磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)等缺陷,最小可检测缺陷81nm;支持4"、6"、8"晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
1437 ¥ 0.00 -
一、产品咨询&送样测试
(一)样片信息
序号 | 设备型号 | 样片类型 | 常规样片尺寸 |
1 | E3500 | SiC衬底、SiC外延片 | 4"、6"、8" |
2 | E3200 | GaN衬底、Si/PSS/Sapphire/SiC基GaN外延片 | 4"、6"、8" |
3 | E1000 | Sapphire、GaAs、钽酸锂、石英玻璃、InP等衬底及外延片的缺陷检测。 | 4"、6"、8" |
4 | SPI300 | Sapphire、GaAs、SiC、GaN等线切片、研磨片和抛光片 | 4"、6" |
5 | E300 | Sapphire,Si,GaAs,InP等衬底缺陷检测 | 4"、6" |
6 | PSS | PR片、PSS片和蓝宝石抛光片 | 4"、6" |
7 | EPI-GN | GaN外延片 | 4"、6" |
8 | EPI-GA | GaAs外延片 | 4"、6" |
9 | COW | GaN、GaAs、InP衬底的芯片 | 4"三道光 6"三道光 |
10 | COT | GaN、GaAs、InP衬底的芯片 | 4"扩5.6"三道光 |
11 | COTD | GaN、GaAs、InP衬底的COT双面缺陷检测 | 4"三道光 |
其他类型样品,需技术确认后再送样测试。
(二)样片邮寄地址
收件人:王先生
电话:010-82356771 手机:18511291215
邮箱:Sales@akoptics.com
地址:北京市昌平区昌平路97号B座503
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