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1

E3500

SiC衬底、SiC外延片

4"、6"、8"

2

E3200

GaN衬底、Si/PSS/Sapphire/SiC基GaN外延片

4"、6"、8"

3

E1000

Sapphire、GaAs、钽酸锂、石英玻璃、InP等衬底及外延片的缺陷检测。

4"、6"、8"

4

SPI300

Sapphire、GaAs、SiC、GaN等线切片、研磨片和抛光片

4"、6"

5

E300

Sapphire，Si，GaAs，InP等衬底缺陷检测

4"、6"

6

PSS

PR片、PSS片和蓝宝石抛光片

4"、6"

7

EPI-GN

GaN外延片

4"、6"

8

EPI-GA

GaAs外延片

4"、6"

9

COW

GaN、GaAs、InP衬底的芯片

4"三道光

6"三道光

10

COT

GaN、GaAs、InP衬底的芯片

4"扩5.6"三道光

11

COTD

GaN、GaAs、InP衬底的COT双面缺陷检测

4"三道光